表面质量

单晶硅微细铣削表面质量实验研究 顾晓伟 1，曹自洋 1,2,*，许顺杰 1,2，赵航宇 1 苏州科技大学机械工程学院，江苏 苏州 215009； 2.苏州市高效与精密加工技术重点实验室，江苏 苏州 215009） 摘要：单晶硅应用广泛…